Equipamentos

Características técnicas do microscópio EVO MA10 da Carl Zeiss e acessórios instalados

MEV

Equipamentos instalados no LMME da UFF.

A seguir são apresentadas as especificações técnicas do microscópio eletrônico digital de varredura e que se encontra instalado no Laboratório Multiusuário de Microscopia Eletrônica (LMME). O LMME foi financiado pela ação CT-INFRA – PROINFRA 01/2006 do MCT / FINEP e encontra-se em funcionamento desde outubro de 2008.

Quadro 1: Detalhamento das características do microscópio EVO MA10 da Zeiss.

Especificação

Descrição

Resolução Espacial em operação a alto vácuo

3 nm @ 30 kV no modo de elétrons secundários para W;

2 nm @ 30 kV no modo de elétrons secundários para LaB6.

Filamento de Tungstênio (W)

Padrão

Sistema para operação com filamento LaB6

Opcional

Faixa de ampliações

7 – 1.000.000,00x

Faixa de Tensão de aceleração

0,2 – 30 kV

Faixa de Pressão de operação

10 – 400 Pa

Detectores disponíveis

Detector do tipo Everhart Thornley padrão (elétrons secundários);

detector de elétrons secundários para baixo vácuo;

detector de 4 quadrantes; (elétrons retroespalhados);

sistema CCD infra-vermelho da câmara de amostras.

Dimensão da câmara de amostras

310 mm (diâmetro) x 220 mm (largura)

Estágio de movimentação de amostras

X: 80 mm, Y: 100 mm, Z: 35 mm;

Inclinação (tilt): 0 a +90°;

rotação: 360º.

Resolução máxima de imagens digitalizadas

3.072 x 2.304 pixels (16 bit)

Acessórios opcionais instalados

Sistema para operação com filamento LaB6;

sistema de medição de corrente nas amostras.

Sistema integrado de EDS e EBSD

modelo Pegasus MX4i da marca EDAX